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2023
2月，北京芯晖技术有限公司成立
9月，上海芯晖芯智技术有限公司成立
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2022
3月，第一代300mm 研磨设备开发成功；第一代150mmSiC 研磨设备交付客户
12月，ADS 首台客户验证通过；晶圆金属污染检测设备交付客户验证；12英寸硅单晶炉年产突破20台
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2021
3月，浙江芯晖检测技术有限公司成立，第一台磨抛/ 测试设备顺利交付客户
7月，12英寸硅单晶炉客户验证通过（PCN验证）
12月，首台铜雾离子检测设备交付客户
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2020
5月，第一代200mm 研磨/200mm 抛光/300mm抛光设备开发成功
12月，国内首台电子级单晶炉研发成功；第二代300mm 抛光设备开发成功
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2019
7月，西安芯晖设备技术有限公司成立
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2018
4月，浙江芯晖装备技术有限公司成立
9月，公司基地【欣晖半导体产业园】奠基
