晶圆铜雾离子检查设备-HD-光学量测设备-浙江芯晖装备技术有限公司

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晶圆铜雾离子检查设备-HD

判断晶圆 COP 缺陷分布，辅助晶棒品质分析

技术参数

产品型号	晶圆铜雾离子检测设备-HD
应用场景	QC Lab
检测缺陷	判断晶圆COP 缺陷，辅助晶棒品质分析
检测精度	±1mm
产能	COP 分布快速分析成像
产品特点	COP 分布快速分析成像
晶圆直径	Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）

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