设备构成

· Loading Port（2sets）

· 刚性主轴（2sets）

· Chuck table（3sets）

· 背膜清洗单元

· 搬送单元（Robot）

最大加工尺寸

· φ 200mm（同时兼容4”、6”、8”）

加工方式

· 干进，干出

加工能力

· 同时高效加工2 片

生产能力

· ≥ 6 wafers /h